Invention Type: Patent / Case Number: #537
Sirkuit Interdigitated Circuit (IDC) termodifikasi komposit hibrida zeolit sebagai sensor gas amonia telah berhasil dibuat dari lapisan kuarsa, lapisan perak yang terletak pada bagian atas pelat penyangga, lapisan emas terdeposisi di atas lapisan perak, lapisan zeolit ZSM-5 mesopori di atas lapisan emas, dan lapisan zeolit NaY mikropori di atas lapisan zeolit ZSM-5 mesopori. Pembuatan ZSM-5 mesopori dilakukan dengan metode hidrotermal dan double template sedangkan pembentukan NaY mikropori dengan metode seeding. Pelapisan zeolit ZSM-5 mesopori pada permukaan IDC dilakukan dengan metode spin coating sedangkan untuk zeolit NaY mikropori dilakukan dengan metode dip coating. Sirkuit IDC termodifikasi ini dimasukkan ke dalam vacuum chamber dan dihubungkan dengan spektrometer impendansi untuk mengukur gas amonia dengan rentang konsentrasi 0-1000 ppm. Sirkuit IDC termodifikasi komposit hibrida zeolit ini terbukti cukup selektif terhadap amonia dengan rentang deteksi yang lebar dan dapat digunakan untuk mendeteksi amonia pada udara terbuka dan suhu ruang.
IDP000069591